解決方案
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半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體監(jiān)測(cè)解決方案
2024-10-24
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半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體監(jiān)測(cè)解決方案
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體監(jiān)測(cè)解決方案
在半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)、制造及儲(chǔ)存等過程中，為了避免這些危險(xiǎn)氣體的泄露導(dǎo)致的生命財(cái)產(chǎn)損失，需要安裝氣體檢測(cè)儀器，來(lái)對(duì)目標(biāo)氣體進(jìn)行檢測(cè)。 易燃性氣體 硅烷SiH4是一種易燃、有毒的危害性氣體。硅烷主要用于半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)高純多晶硅。 乙硼烷B2H6，極易燃且劇毒，常溫下為無(wú)色氣體，用作火箭和導(dǎo)彈的高能燃料。同時(shí)用作高純度硼單晶及十硼氫的原料，也用作半導(dǎo)體工業(yè)的摻雜源。 有毒有害氣體 如砷化氫AsH3、磷化氫PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氫HCN、氟化氫HF等，這些氣體一旦發(fā)生泄漏，會(huì)對(duì)身體產(chǎn)生極大的傷害。 砷化氫AsH3，有劇毒，用于半導(dǎo)體工業(yè)中，如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴(kuò)散、離子注入、生長(zhǎng)砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與某些元素形成化合物半導(dǎo)體。 磷化氫PH3，是一種無(wú)色、劇毒、易燃的儲(chǔ)存于鋼瓶?jī)?nèi)的液化壓縮氣體。半導(dǎo)體行業(yè)中，主要用于硅烷外延的摻雜劑，磷擴(kuò)散的雜質(zhì)源。
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